반도체 산업용 압축공기기준

반 도 체 산업 은 압 축 공 기에 대한 엄격 한 품질 요구 사항을 가지고 있으며 제품 품질 과 생산 안정 성을 보장 하기 위해 여러 핵심 표준 을 충족 해야합니다 .다음은 주요 매 개 변 수 , 시스템 설계 및 관리 사 양 의 세 가지 측면에서 설명 합니다 .

1) 핵심 품질 기준

1.미 립 자 물질 제어

• 청 결 도 등 급ISO 146 44 – 1 의 등 급 5 이상 , 즉 입 방 미 터 당 공기 중 ≥ 0. 1 미 크 론 의 입 자 수가 10, 000 개 이상 에 도달 해야합니다 .리 소 그래 피 기계 와 같은 정 밀 장비 는 더 엄격 한 100 클래 스 클 린 룸 표준 (≤ 35 20 개 / 입 방 미 터) 을 필요로 할 수 있습니다 .
• 통제 의 의미미 립 자 물질 은 웨 이 퍼 를 긁 거나 광 학 요소 를 오염 시켜 제품 결 함을 초래 할 수 있습니다 .

2.습 도 제어

• 이슬 점 온 도：通常要求低于-40℃，高端工艺可能要求-70℃以下，对应含水量仅几十ppm。
• 통제 의 의미응 축 물이 장비 부 식 , 단 락 회 로 또는 제품 오염 으로 이어 지는 것을 방지 합니다 .

3.기름 함 량 제어

• 한 계 값: 총 오 일 함 량은 0. 01 mg / m 3 미 만이 어야 하며 오 일 없는 상태에 가깝 습니다 .
• 통제 의 의미: 민감 한 요소 를 오염 시키 거나 필 름 증 착 공 정에 영향을 미 치지 않도록 하십시오 .

4.화학 오염 물 질 통제

• 금지 된 재료: 산 성 물질 , 알 칼 리 성 물질 , 암 모 니아 가스 , 황 화 물 등 부 식 성 또는 오염 성 물질 을 포함 해서는 안됩니다 .
• 통제의 의미: 화학 오염 물질이 웨이퍼 표면 결함 또는 장비 부식을 초래하는 것을 방지합니다.

5.미생물 통제

• 특수 요구 사항무균 포장 및 기타 링크에서는 고효율 여과 및 자외선 살균을 통해 미생물 농도를 제어해야합니다.
• 통제의 의미: 미생물의 번식을 피하여 제품의 수율에 영향을 미칩니다.

시스템 설계 및 장비 요구 사항

1.압축 공기 처리 공정

• 일반적인 구성: 에 어 컴 프 레 서 → 버 퍼 탱 크 → 후 방 냉 각 기 → 다 단 계 필 터 (먼 지 제거 , 오 일 제거) → 건 조 기 (흡 착 식 또는 냉 동 식) → 터 미 널 필 터 → 가스 점 .
• 주요 장비：
  • 건 조 기：吸附式干燥机可实现-70℃露点，冷冻式干燥机适用于一般需求。
  • 필 터 :0. 01 미 크 론 입 자의 여 과 효율 은 99. 999% 에 달 하는 고 효 율 필 터를 사용합니다 .

2.파이 핑 및 저장

• 재 질 요구 사항: 304 L 또는 31 6 L 스테 인 레스 스 틸 을 사용하는 주요 파이 프 , 용 접 후 산 성 침 수 패 시 브 처리 , 내부 벽 거 칠 기 ≤ 0. 8 μ m .
• 배치 사 양: 파이 프 경 사 ≥ 1 % , 30 미 터 마다 배 수 밸 브 를 설치 하여 응 축 물 축 적을 방지 합니다 .

3.압 력 및 유 량 안정 성

• 압 력 제어장비 요구 사항 범위 (예 : 0. 5 – 0. 7 M Pa), 변 동 범위 ≤ ± 0. 05 M Pa 에서 안정 화 해야합니다 .
• 유 량 보장: 가스 탱 크 용 량 최적 화 (30 분 가스 소비 를 충족 시키는 것이 좋습니다) 및 주 파 수 인 버 터 컴 프 레 서를 통해 동 적 조 정을 달성 합니다 .

3. 운영 관 리 규 범

1.모니터링 및 탐 지

• 온라인 모니터링: 입자 카운터, 이슬점 측정기, 기름 분량 검출기를 설치하여 공기 질을 실시간으로 모니터링합니다.
• 정기적 인 검사: 분기별로 제 3 자 기관에 위탁하여 화학 오염 물질 및 미생물을 포함한 전체 테스트를 수행합니다.

2.유지 보수

• 필터 교체: 압력 차이 표시기에 따라 3 – 6 개월마다 필터 카리브를 교체하십시오.
• 건조기 재생: 흡착식 건조기는 정기적으로 분자 체를 교체해야 하며, 냉동식 건조기는 응축기를 청소해야 한다.
• 파이프 세척: 연간 압축 공기 블로우를 수행하여 파이프 내부 벽 부착물을 제거합니다.

3.비상관리

• 백업 장치이중 공기 압축기 및 건조기를 구성하여 단일 고장점이 생산에 영향을 미치지 않도록합니다.
• 압력 이상 처리: 압력 변동이 한계를 초과하면 시스템은 자동으로 대기 공기 공급으로 전환하고 경보를 트리거합니다.

산업 응용 프로그램의 차이점

V . 요 약

반 도 체 산업 의 압 축 공기 표준 은 정 밀한 시스템 설계 , 엄격 한 장비 선택 및 표준 화 된 운영 관 리를 통해 달성 되어야 하는 품질 관리 의 초 석 입니다 .기업은 공기 압 축 기 출 구 에서 가스 사용 지 점에 이르 기까지 전체 프로세 스 품질 관리 시스템을 구축 하고 ISO 85 73 또는 GB / T 13 27 7 표준 과 결합 하여 압 축 공기 품질 이 반 도 체 공정 의 엄격 한 요구 사항을 충족 하도록 내부 사 양 을 개발 해야합니다 .