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2026-01-06
반도체 생산에 질소의 적용
질 소는 반 도 체 생산 에서 중요한 역할을 하며 , 응용 은 웨 이 퍼 제조 , 패키 징 테스트 및 기타 여러 핵심 링크 에 걸쳐 있으며 , 구체적인 역할 은 다음과 같습니다 .
I . 핵심 보호 역할 : 오염 을 격 리 하고 순 수 성을 보장 합니다 .
- 산 화 와 오염 을 방지 하기
불 활 성 가스 로서 질 소는 화학 적으로 안정 적이며 실 리 콘 과 같은 반 도 체 재료 와 거의 반응 하지 않습니다 .웨 이 퍼 의 저장 , 운송 및 가 공 과정에서 질 소는 장비 또는 밀 봉 용 기에 채워 산 소가 없는 환경을 형성 하여 공기 중 산 소 , 수 증 기 및 기타 불 순 물을 효과적으로 격 리 하여 재료 의 산 화 또는 화학 오염 을 방지 합니다 .예를 들어 다음 을 수행 합니다 .- 실 리 콘 단 정 성장질 소 가 스가 만든 산 소 없는 환경 은 불 순 물 간 섭 을 줄 이고 실 리 콘 결정 의 안정 적인 성장을 보장 하며 최종 실 리 콘 웨 이 퍼 순 도는 99. 999 99% 에 도달 할 수 있습니다 .
- 포 토 레 지 스트 보호: 포 토 레 지 스트 의 감 광 성 분은 산 소 및 습 기와 쉽게 반응 하여 변 질을 초래 합니다 .질 소는 레 지 스트 합 성 및 저장 과정에서 불 활 성 환경을 제공 하여 유 통 기 한 을 연 장 하고 리 소 그래 피 정 밀 도를 보장 합니다 .
- 설 비 블 러 링 및 정 화
화학 증 상 증 착 (C VD), 에 칭 및 기타 공정 에서는 반응 가스 또는 부 산 물이 장비 내부 에 남아 있습니다 .질 소 가 스는 청소 작업을 통해 잔 류 물을 완전히 제거 하여 교 차 오염 을 피 하고 각 제품 배치 의 품질 일 관 성을 보장 합니다 .예를 들어 다음 을 수행 합니다 .- C VD 장비 유지 보수: 질 소 플 러 그는 반응 하지 않은 가스 및 반응 부 산 물을 제거 하여 후 속 공정 의 오염 을 방지 합니다 .
프로세 스 제어 : 반응 환경을 최적 화 하고 성 능을 향상 시킵니다 .
- 온 도 및 압 력의 정확한 제어
질 소는 고 온 공정 (예 : 아 닐 링 , 박 막 성장) 에서 유 량 과 압 력을 조절 함으로써 반응 환경 의 안정 성을 유지 합니다 .예를 들어 다음 을 수행 합니다 .- 급 속 열 아 닐 링 (R TA)질 소는 캐 리어 가 스로 서 온 도의 급 속 한 상승 과 하 락 을 달성 하고 반 도 체의 전기 성 능을 최적 화하는 데 도움이됩니다 .
- 질 화 갈 륨 성장질 소는 보호 가스 로서 뿐만 아니라 반응 에 참여 하여 농 도를 조정 하여 결정 성 분의 비율 을 정확하게 제어 하여 필 름 성장 의 균 일 성을 보장 합니다 .
- 에 칭 및 침 착 공정 최적 화
- 플 라 즈 마 에 코 딩에 칭 가스 또는 보조 가스 로서 의 질 소는 플 라 즈 마 상태를 안정 시키고 정확한 에 칭 프로 파 일을 형성 하여 재료 의 과도 한 제거 또는 부족 을 피 합니다 .
- C VD / P VD 박 막 증 착질 소는 캐 리어 가스 또는 반응 가 스로 서 화학 반응을 촉진 하고 고 품 질 절 연 층 (실 리 콘 질 화 물과 같은) 또는 전도 성 층 을 형성 하여 장치 성 능을 향상 시킵니다 .
패키 지 테스트 : 수 명 연 장 , 신뢰 성 보장
- 패키 지 프로세 스 보호
질 소는 패키 징 단계에서 산 소 와 수 증 기의 침 입 을 방지 하고 산 화 위험을 줄 이며 패키 징 재료 와 칩 을 보호 합니다 .예를 들어 다음 을 수행 합니다 .- 납 이 없는 용 접: 질 소는 산 화를 줄 이고 용 접 점 의 품질 을 보장 하며 신뢰 성을 향상 시킵니다 .
- 웨 이 퍼 가 얇 아 지 다: 얇 은 칩 표 면 노출 영역 이 증가 하여 습 기와 산 소 침 식을 방지 하기 위해 질 소 환경에서 작동 해야합니다 .
- 테스트 환경 시 뮬 레이 션
질 소는 테스트 단계에서 실제 사용 환경을 시 뮬 레이 션 하여 반 도 체 성 능을 정확하게 평가 합니다 .예를 들어 다음 을 수행 합니다 .- 배 선 공 예: 질 소 가 스는 무 산 소 건 조 환경을 조 성 하여 와 이 어 산 화 및 용 접 지 점 의 가상 용 접 을 방지 하여 전기 전도 성의 신뢰 성을 보장 합니다 .
경제 성과 환경 보호 의 장 점
- 현 장 질 소 생산 비용 절 감
반 도 체 공 장은 일반적으로 압 력 변환 흡 착 (P SA) 또는 심 냉 각 분리 기술을 통해 질 소를 현 장에서 생산 하여 액 체 질 소 저장 및 운송 비용을 줄 이고 탄 소 배출 량을 줄 일 수있는 질 소 발생 기를 장 착 합니다 .예를 들어 다음 을 수행 합니다 .- PSA 질 소 제조 기: 원 료 로 공 기를 사용하여 , 에너지 소비 는 공기 압 축 기에 의해 소비 되는 전기 에너지 , 낮은 운영 비용 및 높은 효율 성 입니다 .
- 고 순 도 공급 보장
질 소 발생 기는 99. 999% 이상의 질 소를 생산 하여 가스 순 도에 대한 반 도 체 산업 의 매우 높은 요구 사항을 충족 시키고 제품의 오염 및 산 화를 방지 하고 완 제 수 율 을 향상 시킬 수 있습니다 .
