먼지 없는 실에서의 호흡용 압축공기의 역할

무 진 실 에서의 호흡 용 압 축 공 기의 작용 에 관한 기술적 설명

정 밀 제조 , 바이 오 의 약 품 , 전자 반 도 체 및 기타 고급 산업 분야에서 클 린 룸 은 핵심 생산 환경 이며 공기 청 결 은 제품 품질 및 공정 안정 성과 직접 적으로 관련이 있습니다 .클 린 룸 의 핵심 인 프 라 로서 호흡 용 압 축 공 기는 깨끗한 전 원 및 공정 매 체를 제공 함으로써 인 력의 안전을 보장 하고 환경 청 결 을 유지 하며 정 밀 장 비를 구 동 하는 데 대체 할 수없는 역할을 합니다 .기술 가치 및 시스템 사 양 에 대해 다음과 같이 설명 합니다 .

1. 환경 유지 핵심 지원

1. 양 압 환경 구축：
   • 깨끗한 압 축 공 기의 지속적인 공급 을 통해 클 린 룸 의 상대 적인 외부 환경 (일 반 적으로 5 – 15 Pa) 의 양 성 압 력 차이를 유지 하여 외부 오염 물질 의 침 입 을 효과적으로 차단 합니다 .
   • 청 결 등 급 이 ISO 5 (등 급 100) 을 요구하는 먼 지 없는 실 에서는 시간 당 15 – 20 번의 완전한 공기 교체 가 필요 하며 호흡 용 압 축 공 기는 공기 공급 의 30 – 40% 를 차지 해야합니다 .
2. 공기 흐름 조직 최적 화：
   • 층 층 흐름 공기 공급 시스템을 사용하면 호흡 을위한 압 축 공기 구 동 F PU (팬 필 터 유 닛) 는 0. 3 – 0. 5 m / s 의 수 직 단 방 향 공기 흐 름을 달성 하여 미 립 자가 가장 짧은 경 로 로 깨끗한 영역 에서 배출 되도록 합니다 .
   • 국 부 100 급 작업 영역 에서는 압 축 공기 구 동 공기 커 튼 장치를 통해 폭 이 0. 5 – 1. 0 m 의 깨끗한 장 벽 을 형성 하여 직원 의 조작 으로 인한 미 립 자 확 산을 차단 할 수 있습니다 .

2) 인 력 안전 시스템

1. 호흡 기 보호 공급：
   • 양 압 식 호흡 기에 깨끗한 공기 원을 제공 하여 생물 안전 실험 실 및 유 독 및 유 해 작업 영역 에서 운영 자의 안전을 보장 합니다 .
   • 呼吸用压缩空气需满足EN 12021《呼吸用压缩空气质量标准》，含油量≤0.01mg/m³，CO含量≤5ppm，水蒸气含量≤-11℃露点。
2. 비 상 탈출 지원：
   • 비 상 상황에서 압 축 공기 구 동 공기 밀 봉 문 은 0. 3 초 이내에 신속하게 열 릴 수 있으므로 인 원 대 피 을위한 귀중 한 시간을 확보 합니다 .
   • 비 상 호흡 장 비를 갖추 고 정 전 등 돌 발 상 황 에서 30 분 이상 지속 적으로 공기 공 급 을 하여 인 원의 안전한 대 피 를 보장 한다 .

3, 정 밀 공정 동 력 원

1. 미 세 환 경 제어：
   • 리 소 그래 피 기계 , 웨 이 퍼 검사 장비 및 기타 정 밀 장비 주변 에서는 압 축 공기 구 동 미 세 환경 시스템을 통해 ISO 1 등 급 (10 등 급) 의 지역 청 결 도를 유지할 수 있으며 진 동 값 ≤ 0. 5 μ m 입니다 .
   • 압 축 공기 부 류 기술을 사용하는 방 진 테이블 은 외부 진 동 간 섭 을 격 리 하여 나 노 크 기의 가 공 정확 도를 보장 할 수 있습니다 .
2. 자동 화 장치 드라이 버：
   • 공 압 조작 기 , 진 공 흡 인 기 및 기타 실행 기관 에 깨끗한 전 력을 제공 하며 반복 위치 정 밀 도는 ± 0. 00 5 mm 에 도달 할 수 있습니다 .
   • 하드 디 스크 헤 드 조 립 과 같은 초 정 밀 제조 에서 압 축 공기 구 동 마이크로 변 위 플랫폼 은 나 노 스케 일 단계 제 어를 달성 할 수 있습니다 .

4, 특수 공정 매 체 공급

1. 표면 처리 응용：
   • 칩 제조에서는 압축 공기 구동 플라즈마 세척 장비가 웨이퍼 표면에서 sub – nanoscale 오염 물질을 제거 할 수 있습니다.
   • 광학 요소 가공에서 압축 공기 혼합 연마제를 통해 에어로졸을 형성하여 초매끄러운 표면 가공을 달성하며 표면 거칠기 Ra ≤ 0. 2 nm 입니다.
2. 건조 냉각 공정：
   • 리튬 배터리 극 시트 코팅 공정에서, 압축 공기 구동의 서스펜션 건조 장치는 용매 잔류 ≤ 0. 05% 를 만들 수 있습니다.
   • LED 칩 패키지에서는 압 축 공기 냉 각 기술을 사용하여 -40 ° C 의 급 속 한 냉 각 을 달성 하여 열 응 력 결 함을 줄 일 수 있습니다.

V. 시스템 구성 사양

1. 다단계 정화 시스템：
   • 사전 필 터 (5 μ m), 정 밀 필 터 (0. 01 μ m), 활성 탄 소 흡 착 기 3 단계 정 화 장 비를 구성 하여 압 축 공기 청 결 도가 ISO 85 73 – 1 등 급 표준 에 도달 하도록 보장 합니다 .
   • 바이 오 제 약 무 진 실 에서는 멸 균 필 터 (0. 00 1 μ m) 를 추가 하여 멸 균 효율 ≥ 99. 999% 를 설치 해야합니다 .
2. 지능 형 모니터링 플랫폼：
   • 압 축 공기 압 력 , 유 량 , 이슬 점 , 기름 함 유 량 등 12 개의 매 개 변 수를 실시간 으로 모니터링 하며 데이터 수집 빈 도 ≥ 1 회 / 초 .
   • 3 단계 경 보 임 계 값 을 설정 하고 한 계를 초 과 한 후 10 초 이내에 대기 공기 공급 장치 전환 을 시작 하고 소리 및 광 경 보 및 문자 메시 징 통 지를 트 리 거 합니다 .
3. 파이 프 라인 시스템 설계：
   • 주 공기 공급 파이 프는 31 6 L 스테 인 레스 스 틸 이 음 새 없는 파이 프 , 내 벽 거 칠 기 ≤ 0. 4 μ m , 용 접 은 전 분 연 마 처리 됩니다 .
   • 단말기 분관은 자동 배수 밸브를 구성하여 2 시간마다 응축수를 자동으로 배출하여 미생물의 번식을 방지합니다.

6. 운영 및 유지보수 기준

1. 일상 순찰 요구 사항：
   • 공기 압축기의 배기 온도, 압력 및 오일 레벨을 2 시간마다 검사하고 가스 탱크의 압력 변화 곡선을 기록합니다.
   • 매일 끝 필터 압력 차이를 감지하고 초기 값의 50 % 를 초과하면 필터 카리브를 즉시 교체하십시오.
2. 연간 검사 항목：
   • 미생물의 총 수, 내독소 함량, VOCs 농도 등 지표를 포함한 압축 공기에 대한 전체 검사를 수행합니다.
   • 안전 밸브 트립 압력을 확인하고 오차가 ± 3 % 를 초과하면 즉시 교체하고 파이프 라인 압력 테스트를 수행합니다.

압축 공기 품질 관리 시스템을 구축하고 공기 공급 장치의 선택, 파이프 라인 건설 및 검증에서 일상적인 운영 및 유지 보수에 이르기까지 전체 프로세스 품질 관리를 구현하는 것이 좋습니다.연속 실행 시스템의 경우 지능형 모니터링 플랫폼을 구성하여 압력, 유량, 순도 및 기타 주요 매개 변수의 실시간 모니터링 및 비정상 경보를 달성하여 먼지 실 환경이 공정 요구 사항 내에서 지속적으로 안정되도록해야합니다.