반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 압축 공기의 순도는 무엇입니까?

반 도 체 제조 분야에서 압 축 공 기의 청 결 성은 칩 생산 품질 과 장비 안정 성에 직접 적으로 영향을 미 칩니다 .업 계는 일반적으로 정 밀 공 정을 방해 하는 작은 불 순 물을 피 하기 위해 압 축 공 기가 매우 높은 순 도 기준 을 충족 하도록 요구 합니다 .

물 윤 활 단일 나 사 공기 압 축 기는 물리적 압 축 을 통해 공 기를 출 력 하며 , 핵심 장 점은 오 일 화 되지 않은 설계 에 있습니다 – 전통적인 윤 활 유 를 대체 하여 원 천 에서 기름 잔 류 물을 제거 하고 반 도 체 공정 의 ” 제로 오 일 오염 ” 의 기본 요구 사항을 충족 시킵니다 .그러나 원래 압 축 공 기는 여전히 자연 적으로 응 축 된 물 과 공기 중 미 세 입 자를 포함 할 수 있으며 후 처 리 장비 에 의해 더 정 화 되어야 합니다 .

半导体行业常用的压缩空气纯度标准通常包括：露点温度需控制在-40℃以下（确保深度干燥），颗粒物含量需达到ISO 8573-1标准中的1级或更优（粒径≤0.1μm的颗粒物浓度极低），油分含量则需严格为零。Gr anger lin 에 어 컴 프 레 서 에서 배출 되는 기름 이 없는 공 기는 후 처 리 장비 에 깨끗한 기반 을 제공 할 수 있으며 , 냉 간 건 조 기 , 흡 입 건 조 기 및 정 밀 필 터를 설치 하여 잔 류 물 과 미 립 자를 효과적으로 제거 하여 최종 가 스가 반 도 체 공정 의 까 다 로운 요구 사항을 충족 하도록 보장 합니다 .

이 솔루 션 의 장 점은 다음과 같습니다 : Gr anger lin 공기 압 축 기의 오 일 없는 특 성은 건 조 장비 및 여 과 시스템의 오 일 오염 을 피 하고 후 처 리 구성 요소 의 서비스 수 명을 연 장 합니다 ; 동시에 , 안정 적인 압 축 공기 흐름 및 압 력 특 성은 후 처 리 장비 의 효율 적인 작동 을 보장 하여 공기 압 력 변 동 으로 인한 정 화 효과 의 불안 정한 위험을 줄 입니다 .

반 도 체 기업은 특정 공정 의 가스 소비 , 연속 성 요구 사항 및 환경 습 도에 따라 정 화 솔루 션을 포 괄 적으로 평가 하는 것이 좋습니다 : 습 도가 높 거나 건 조 성 요구 사항 이 매우 높은 시 나 리오 에서는 흡 입 건 조 기 및 다 단 계 여 과 조합 을 선호 합니다 ; 환경 습 도가 제어 가능 하고 공정 공 차 가 높은 경우 , 냉 간 건 조 기와 정 밀 필 터의 조합 은 경제적 선택 으로 사용할 수 있습니다 . Gr anger lin 에 어 컴 프 레 서 와 후 처 리 장비 의 조합 은 정 밀 제조 표준 을 충족 하는 반 도 체 산업 을위한 신뢰할 수있는 가스 솔루 션을 제공합니다 .